SJ6000國內激光干涉儀可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,還可以實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
SJ6000激光干涉測量儀與不同光學附件結合,可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結構,安裝位置靈活,便于分析機床誤差來源;而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數據,更接近機床的實際使用狀態。
中圖儀器SJ6000機床激光干涉儀精度高,抗干擾能力強,空氣湍流、熱波動等影響甚微,不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。滿足現在所有類型數控機床精度檢測,同時可進行動態高速測量,配以相應元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。